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調制比對HiPIMS制備多層DLC薄膜耐腐蝕性能的影響
2021-07-12 10:33:09
作者:賈昆鵬,王雪,徐鋒,施莉莉,趙延超,左敦穩
來源:中國表面工程
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標簽:
DLC 薄膜
,
軟硬交替
,
調制比
,
電阻率
,
殘余應力
,
耐腐蝕性
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