張曉化，項定根，劉道新，杜東興

　　西北工業(yè)大學 腐蝕與防護研究室，陜西 西安  710072

　　摘  要：為改善鈦合金的抗微動損傷（微動磨損和微動疲勞）性能，在Ti811鈦合金表面利用離子輔助磁控濺射技術制備了相同調制周期（均為200nm）不同調制比例（3:1、1:1、1:3）的Cu/Ni金屬多層膜，測試了膜基結合強度、膜層顯微硬度和韌性，對比研究了不同調制比例的Cu/Ni多層膜對Ti811鈦合金常溫下微動損傷行為的影響。結果表明：離子輔助磁控濺射技術可以制備致密度高、晶粒細化、膜基結合強度高的Cu/Ni金屬多層膜，該類多層膜具有良好的減摩潤滑作用和強韌性能，因而有效改善了Ti811鈦合金的抗微動磨損和抗微動疲勞性能。隨著多層膜中Ni單元層與Cu單元層厚度比的增加，Cu/Ni多層膜的顯微硬度增大，摩擦力降低，抗微動磨損性能提高，然而，其改善Ti811鈦合金抗微動疲勞性能的效果隨膜層調制比的增大呈現出非單調變化趨勢，調制比為1:1的Cu/Ni多層膜對鈦合金FF抗力的提高程度最為顯著，此歸于該膜層具有很好的強韌性能和減摩潤滑性能的匹配。

　　關鍵詞：微動疲勞；微動磨損；多層膜；鈦合金；調制比

　　聯系方式

　　張曉化：yhzhangxh@nwpu.edu.cn

責任編輯：趙澤南

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