使用固定磨料（如各種砂紙、研磨紙、金剛石研磨盤和砂輪等）磨削試樣表面的過程稱為研磨。

目的：去除試樣余量及損傷層，獲得低損傷層的平面。

研磨-原理

通過由粗到細砂紙（磨盤），以便最快以去除干擾層影響。

最粗及最細目數的的選擇可根據樣品的具體精況而且定。

每一道研磨工序必須除去前一道工序造成的變形層，而不是僅僅把前一道工序的磨痕除去。

研磨設備

1）手動磨拋機

  依賴于操作技巧。

2）自動磨拋機

特點：具有無級調速功能、可給定壓力和磨制時間并動態顯示和自動控制不需人員操作，一次可完成多個試樣磨拋。重現性高。

研磨介質

金相砂紙

金剛石研磨盤

金剛石拋光膜

金剛石研磨盤特點：

磨削力很強，高效。

保證了試樣的表面平整度，不會出現類似于砂紙的局部凹陷。

對軟硬質材料具有同樣磨削力，保證了試樣表面一致的磨削效果。

消除浮凸缺陷。

使用磨石開刃。

價格較貴，但耐用、壽命長。

特別適用于陶瓷、硬質合金等堅硬材料的研磨。

粗磨→細磨

粗磨

 *去除切割造成的損傷

 *整平試樣，形成合適的形狀

 *快速接近目標

細磨

 *去除粗磨的劃痕和變形層

 *減薄變形層以利于下一步的拋光

每道研磨砂紙的粒度

 *從盡可能細的顆粒開始研磨

 *每步遞減1/2磨粒尺寸

 *SiC  P180＞P400＞P800＞P1200 ＞P2000 ＞P2500 ＞P4000

手動研磨

一般試樣300rpm為宜，過快試樣易脫手飛出；

在磨制試樣前應將試樣磨制面的邊緣進行圓弧倒角，以避免磨制面的直邊刮削砂紙；

不可太用力，否則就會偏離平衡。輕輕拿，慢慢放，穩穩找平；

快到欲觀察面時應不時觀察磨面以防過磨；

在兩相鄰的研磨中，旋轉樣品90°，研磨時間為磨掉前道的磨痕的時間的1~3倍；

換砂紙時，確認磨痕是否磨掉；

確保研磨面為同一平面，不可磨成錐面或多面。

自動研磨

將試樣對稱平均放置在樣品夾具中。

將樣品夾具的邊緣和研磨盤的邊緣相切。

自動研磨時使冷卻水流在距離底盤中心1/3處。

當金剛石研磨盤磨損至基體金屬時應當更換。

自動研磨時的推薦壓力一般為4-6 N/c㎡ , 針對不同直徑，壓力如下表。

易碎、易脫落、易分層試樣（硅片、陶瓷涂層、氧化物涂層、金屬粉末等）

從盡可能細的砂紙開始研磨；

保證涂層始終朝向基體受壓；

自動研磨使用較小的力，同向旋轉；

使用研磨紙；

試樣和樹脂間有縫隙、試樣或樹脂有孔洞（研磨時存儲磨料產生難以去除的大劃痕）

研磨道次間使用超聲波振動；

清潔手和試樣；

使用保邊鑲嵌料或真空鑲嵌；

非常軟和非常硬的材料（純Fe、純Pt、Pb、 Sn和Bi等軟材料研磨時嵌入，硬材料磨不動、磨偏、磨斜）

在砂紙表面涂一層潤滑物質如機油、煤油、甘油、石蠟和肥皂水等?；蚴褂醚心ゼ?；

硬材料使用金剛石研磨料；