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中科院院士王曦出任科技部副部長(zhǎng)

2019-05-15 13:17:08 作者：本網(wǎng)整理來(lái)源：《中國(guó)科學(xué)報(bào)》分享至：

據(jù)新華社5月14日消息，國(guó)務(wù)院任命王曦為科學(xué)技術(shù)部副部長(zhǎng)。

科技部網(wǎng)站提供的資料顯示，王曦此前擔(dān)任中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)、中國(guó)科學(xué)院上海高等研究院院長(zhǎng)、中國(guó)科協(xié)副主席。

自今年4月起，王曦出任科技部副部長(zhǎng)、黨組成員兼中國(guó)科協(xié)副主席。

王曦：科學(xué)家應(yīng)把自己的研究與國(guó)家戰(zhàn)略需要聯(lián)系起來(lái)

在中國(guó)，如果提到高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，業(yè)內(nèi)人士都會(huì)提到一個(gè)名字——王曦。

王曦，中國(guó)科學(xué)院院士，我國(guó)著名半導(dǎo)體材料學(xué)專家，中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)、我國(guó)高端集成電路襯底材料的主要開(kāi)拓者和領(lǐng)軍人物。

1996年，博士畢業(yè)后的王曦前往歐洲最大的離子束材料研究基地德國(guó)羅森多夫研究中心做訪問(wèn)學(xué)者。

1998年6月回國(guó)后不久，王曦得知一個(gè)震驚中國(guó)材料界的消息，IBM宣布將國(guó)際公認(rèn)的21世紀(jì)微電子新材料SOI應(yīng)用于處理器芯片生產(chǎn)，帶動(dòng)一批著名半導(dǎo)體跨國(guó)公司進(jìn)行這項(xiàng)技術(shù)的開(kāi)發(fā)。

SOI，是Silicon-on-insulator的簡(jiǎn)稱，中文譯為絕緣體上的硅。國(guó)際上公認(rèn)，SOI在低壓、低功耗電路、耐高溫電路、微機(jī)械傳感器、光電集成等方面具有重要應(yīng)用價(jià)值。

王曦意識(shí)到，提升我國(guó)SOI技術(shù)應(yīng)用研究力度、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程迫在眉睫。

33歲的王曦毅然擔(dān)起重任，帶領(lǐng)科研團(tuán)隊(duì)，聚焦SOI材料制備中的關(guān)鍵技術(shù)“離子注入”，為了盡快趕上國(guó)際先進(jìn)水平，夜以繼日地在實(shí)驗(yàn)室里奮斗。

奮斗迎來(lái)了曙光。2000年，離子束原位摻雜技術(shù)獲得重要進(jìn)展，相關(guān)論文引發(fā)國(guó)際同行高度關(guān)注。

2001年7月，為了將科研技術(shù)應(yīng)用于高端集成電路襯底材料SOI開(kāi)發(fā)，王曦推動(dòng)中科院上海微系統(tǒng)所孵化成立了上海新傲科技股份有限公司。

他和SOI課題組的5位博士一同進(jìn)入公司，科學(xué)家王曦轉(zhuǎn)型成為董事長(zhǎng)和CEO。

經(jīng)過(guò)不懈努力，研究團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了超低劑量SOI工藝，在國(guó)際上獨(dú)創(chuàng)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的注氧鍵合Simbond-SOI技術(shù)。

王曦坦言，當(dāng)自己和團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)個(gè)奮戰(zhàn)的晝夜，生產(chǎn)出一個(gè)個(gè)光潤(rùn)無(wú)瑕、晶瑩剔透的“三明治”硅片的時(shí)候，大家的幸福感和激動(dòng)之情溢于言表。

然而，經(jīng)營(yíng)管理企業(yè)，光擁有技術(shù)還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，融資、設(shè)備引進(jìn)、技術(shù)突破、開(kāi)拓市場(chǎng)……所有過(guò)程都比預(yù)想的要艱難。

王曦說(shuō)，每一個(gè)環(huán)節(jié)遇到的波折都足以使人放棄，僅融資就談了100多家才宣告完成。

憑著堅(jiān)忍不拔的信念，王曦和他的團(tuán)隊(duì)協(xié)力奮戰(zhàn)，終于實(shí)現(xiàn)了SOI材料產(chǎn)業(yè)化，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。

中國(guó)創(chuàng)造的硅片，遠(yuǎn)銷西方發(fā)達(dá)國(guó)家，成功實(shí)現(xiàn)中國(guó)微電子材料的跨越式發(fā)展。

眾望所歸，“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”榮獲2006年國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。上海新傲科技股份有限公司也因成功完成我國(guó)8英寸SOI材料產(chǎn)業(yè)化，成為了我國(guó)唯一的SOI材料研發(fā)和生產(chǎn)基地。

2014年，上海新傲科技股份有限公司和全球最大的SOI生產(chǎn)商法國(guó)Soitec簽署了合作協(xié)議，鞏固了雙方的戰(zhàn)略伙伴關(guān)系，樹(shù)立了中國(guó)企業(yè)在國(guó)際上的地位。

王曦至今仍記得，當(dāng)年創(chuàng)業(yè)初始，自己在法國(guó)曾在Soitec門(mén)口轉(zhuǎn)悠，只能和門(mén)衛(wèi)聊聊天的情形；沒(méi)想到，時(shí)隔多年，自己能和這家行業(yè)巨頭在自己的祖國(guó)，平起平坐，握手合作。

“做科學(xué)家，尤其是應(yīng)用學(xué)科的科學(xué)家，必須把自己的研究與國(guó)家的戰(zhàn)略需要聯(lián)系起來(lái)，通盤(pán)去想，去布大局，做大事。”在接受《中國(guó)科學(xué)報(bào)》采訪時(shí)，王曦如是說(shuō)。

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