在低于1×105 Pa（通常是10~10-1 Pa）滲碳氣氛中，利用工件（陰件）和陽極之間產生的輝光放電進行的滲碳。

8）流態床滲碳

在含碳的流態床中進行的滲碳。

9）電解滲碳

在作為陰極的工件和與之同置于鹽浴中的石墨陽極之間接通電源進行的滲碳。

10）真空滲碳

在低于1×105 Pa（通常是10~10-1 Pa）的條件下于滲碳氣氛中進行的滲碳。

11）高溫滲碳

在950℃以上進行的滲碳。

12）局部滲碳

僅對工件某一部分或某些區域進行的滲碳。

13）穿透滲碳

薄工件從表面至中心全部滲透的滲碳。

14）碳化物彌散強化滲碳

使滲碳表層獲得細小分散碳化物以提高工件服役能力的滲碳。

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